介紹各種電子顯微鏡的基本工作原理。TEM/SEM/STM/AFM。

透射電子顯微鏡 TEM（Tran ** ission Electron Microscope）

電子束通過(guò)樣品成像。與普通生物透射顯微鏡更基本的工作機(jī)制相同，德布羅意波長(zhǎng)較短，僅利用電子作為粒子來(lái)實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的分辨率。

掃描電子顯微鏡 SEM （Scanning Electron Microscope）

顯微鏡只能觀察樣本表面，電子照射到樣本表面，反射成像。

掃描隧道顯微鏡 STM（Scanning Tunneling Microscope）

通過(guò)一個(gè)非常時(shí)，電子可以通過(guò)量子隧道距離足夠近時(shí)，電子可以通過(guò)量子隧道通過(guò)探針與樣品之間的間隙形成電流。距離越近，電流越大。在掃描過(guò)程中，上下移動(dòng)探針以恒定電流，并記錄探針的上下移動(dòng)。由于工作原理的限制，顯微鏡只能測(cè)量導(dǎo)電樣品的表面。

顯微鏡 原子力AFM （Atomic Force Microscope）

又稱掃描顯微鏡（Scanning Force Microscope）。其原理是通過(guò)彈性臂/箔（下圖6）上的探針接近樣品表面。在掃描和移動(dòng)過(guò)程中，表面原子的排列將反映在彈性臂/箔的變形上，然后測(cè)量其變形。上述隧道效應(yīng)可用于測(cè)量變形，如下圖所示。激光也可用于測(cè)量。這種顯微鏡不應(yīng)被視為電子顯微鏡。該顯微鏡可用于測(cè)量非導(dǎo)體表面原子結(jié)構(gòu)。