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激光共聚焦顯微鏡、掃描電鏡原子力顯微鏡三者的區(qū)別 - 分析行業(yè)新聞
來源: | 發(fā)布日期:2023-03-09 16:07
 

三者都是點(diǎn)源逐點(diǎn)掃描成像,通過控制掃描驅(qū)動(dòng)范圍,調(diào)節(jié)放大倍數(shù),主要區(qū)別

1、極限分辨率不同, 緣于放大信號(hào)源的差異

激光共聚焦:極限分辨率 150nm.

掃描電鏡:20nm~0.8nm.

原子力顯微鏡:極限分辨率0.1nm

2、掃描驅(qū)動(dòng)方式不同

激光共聚焦:激光轉(zhuǎn)鏡控制激光掃描范圍和掃描速度。

掃描電鏡:電磁線圈控制電子束掃描范圍和掃描速度,

原子力顯微鏡:壓電位移傳感器驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)X,Y 方向掃描,

3、立體成像的差別

激光共聚焦:通過納米精度步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)樣品在Z軸方向逐層成像,軟件將設(shè)定的各層圖像合成清晰立體圖像。

掃描電鏡: 單幀圖像具有很大景深,但屬于二維圖像,通過立體對(duì)技術(shù)可實(shí)現(xiàn) ???м?????????????WYS-21C 三維成像。

原子力顯微鏡:成像的本質(zhì)就是測量表面每個(gè)像素點(diǎn)的高低,描繪出立體形貌。

4、工作環(huán)境差別

激光共聚焦和原子力顯微鏡可以在大氣環(huán)境中進(jìn)行測試樣品

一般掃描電鏡必須在高真空環(huán)境下進(jìn)行測試樣品

5、應(yīng)用范圍差別

激光共聚焦:幾倍 ~ 幾千倍,樣品制備簡單

掃描電鏡 :幾倍~幾十萬倍,樣品制備稍微復(fù)雜一些,但總體也很簡單。

原子力顯微鏡:幾萬倍~幾千萬倍, 要求樣品非常平坦,樣品制備很難。


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【責(zé)任編輯】微儀顯微鏡

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